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大悟作为一个质量流量控制器空气
作为一个质量流量控制器空气热流量传感器不易受外部温度影响。抑制启动时的流量波动现象。规格（外部泄漏率） 1 x 10-7Pa・m3/sec（He）以下 材质（气体接触部分） SUS316、PTFE、氟橡胶 尺寸（mm） 127 x 25.5 x 100 阀门类型 N/O 常开 电源 + 15VDC ±5% 60mA, -15VDC±5% 150mA 重复精度 ±0.2%FS 耐压 (MPa) 1 (G) 相当于 1/4in.SWL 连接 通信方式 模拟 0 至 5VDC (D-Sub9Pin 连接器) 输入/输出模拟信号 (0 ~5VDC) 流量精度 ±2%FS (精度保证范围 15~35℃) 工作压力范围 (kPa) 50~300 响应时间 6sec 流量控制范围 5~100%FS 内容 1 个
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